国机集团所属沈阳仪表院承担的沈阳市高新技术产业发展计划项目“高性能硅电容压力传感器”近日顺利通过验收。
该项目采用先进的微电子和微机械加工相结合的工艺技术，在硅电容传感器设计、制造工艺技术、传感器封装结构等方面具有创新性，解决了硅电容传感器研制的工艺技术难题，开发研制出完全拥有自主知识产权的新型高性能硅电容差压传感器产品，产品精度优于0.075％FS，技术水平达到国内领先、国际一流。
项目建成了年生产能力一万台的硅电容差压传感器生产线，实现了产品的系列化生产，并首次实现智能变送器产品核心传感器的国产化配套，打破了国外的技术封锁，填补了国内空白。同时，作为上游核心器件，该项研究带动了传感器、变送器及相关仪表产业的发展，解决了有表无芯的问题，有效地支撑了高端装备制造产业链建设。